Аварийный сигнал анормального увеличения емкости: Alarm: Capacitance abnormally became larger

Этот аварийный сигнал возникает, когда текущая емкость превышает начальное калибровочное значение или пороговое значение настройки.

Возможные причины:

  • Лазерная головка касается пластины.
  • Попадание воды в лазерную головку.
  • Рассеянный свет лазера повышает температуру сопла и вызывает температурный дрейф.
  • Давление при подаче газа изменяет зазор между соплом (положительный элемент) и корпусом лазерной головки (отрицательный элемент).